技術特點
透射電鏡原位等離子體態(tài)樣品臺由樣品桿和反應室組成，與JEOL、FEI、Hitachi等透射電鏡有很好的設備兼容性。該樣品臺裝備有一對由SiNx自支撐膜組成的全封閉式/流動式微型等離子體態(tài)反應室，可使用各種反應氣體，氣壓可在760Torr-mTorr范圍內(nèi)變化，反應室最大高度400μm，容積連續(xù)可調，觀察區(qū)域面積25×25~100×100μm2，可使用直流/射頻電源，最大外加偏壓800V。
